咨詢熱線

13761090949

當前位置:首頁   >  産品中(zhōng)心  >  光學顯微鏡  >  激光共聚焦顯微鏡  >  NS3500高速3D激光共聚焦顯微鏡

高速3D激光共聚焦顯微鏡

簡要描述:NS3500高速3D激光共聚焦顯微鏡是韓國Nanoscope System 公司專門爲低維材料研究所研發的一(yī)款高速3D顯微鏡。與傳統的3D探針輪廓儀相比較,NS3500使用405nm的激光作爲光源,進行無損傷檢測,不與樣品的表面直接接觸,因此不會損傷樣品的表面,測量精度遠遠高于探針輪廓儀。

  • 産品型号:NS3500
  • 廠商(shāng)性質:生(shēng)産廠家
  • 更新時間:2021-09-15
  • 訪  問  量:4426

詳細介紹

NS3500三維激光共聚焦顯微鏡

NS-3500是一(yī)種可靠的三維(3D)測量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學掃描模塊和信号處理算法實現實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結構,如半導體(tǐ)晶片,FPD産品,MEMS設備,玻璃基闆,材料表面等方面擁有*的解決方案。

 

Features & Benefits(性能及優勢):

  • 高分(fēn)辨無損傷光學3D測量                               自動傾斜補償

  • 實時共焦成像                                                 簡單的數據分(fēn)析模式

  • 多種光學變焦                                                 雙Z掃描

    大(dà)範圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

  • 實時CCD明場和共聚焦成像                            無樣品準備

  • 自動聚焦

Software (軟件):

Application field(應用領域):

NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。

可測量微米和亞微米結構的高度,寬度,角度,面積和體(tǐ)積,例如

-半導體(tǐ):IC圖形,凹凸高度,線圈高度,缺陷檢測,CMP工(gōng)藝

- FPD産品:觸摸屏屏幕檢測,ITO圖案,LCD柱間距高度

- MEMS器件:結構三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形

-玻璃表面:薄膜太陽能電(diàn)池,太陽能電(diàn)池紋理,激光圖案

-材料研究:模具表面檢測,粗糙度,裂紋分(fēn)析

Specification (規格):

Model

Microscope  NS-3500

備注

 

Controller    NS-3500E

物(wù)鏡倍率

10x

20x

50x

100x

150x

 

觀察/  測量範圍  

水平 (H): μm

1400

700

280

140

93

 

垂直 (V): μm

1050

525

210

105

70

 

工(gōng)作範圍: mm

16.5

3.1

0.54

0.3

0.2

 

數值孔徑(N.A.)

0.30

0.46

0.80

0.95

0.95

 

光學變焦

x1 to x6

 

總放(fàng)大(dà)倍率

178x to 26700x

 

觀察/測量光學系統  

針孔共聚焦光學系統

 

高度測量

測量掃描範圍

精細掃描 : 400 μm (and/or) 長掃描 : 10 mm [NS-3500-S]

注 1

長掃描 : 10mm [NS-3500-T]

顯示分(fēn)辨率

0.001 μm

 

重複率 σ

0.010 μm

注 2

寬度測量

顯示分(fēn)辨率

0.001 μm

 

重複率 3σ

0.02 μm

注 3

幀記憶

像素

1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96

 

單色圖像

12 bit

 

彩色圖像

8-bit for RGB each

 

高度測量

16 bit

 

幀速率

表面掃描

20 Hz to 160 Hz

 

線掃描

~8 kHz

 

自動功能

自動增益

 

激光共焦測量光源

波長

405nm

 

輸出

~2mW

 

激光等級

Class 3b

 

激光接收元件

PMT (光電(diàn)倍增管)

 

光學觀察光源

10W LED

 

光學觀察照相機

成像元件

1/2” 彩色圖像 CCD 傳感器

 

記錄分(fēn)辨率

640x480

 

自動調整

增益, 快門速度, White balance

 

數據處理單元

PC

 

電(diàn)源

電(diàn)壓

100 to 240 VAC, 50/60 Hz

 

電(diàn)流

500 VA max.

 

重量

顯微鏡

Approx. ~50 kg

(Measuring head unit : ~12 kg)

 

控制器

~8 kg

 

隔振系統

電(diàn)子隔振器

Option

 

精細和長距離(lí)掃描儀的雙重掃描模式僅适用于NS-3500-S(單鏡頭類型)。                

注1:精細掃描由壓電(diàn)執行器(PZT)執行。

注2 :以100×/ 0.95物(wù)鏡對标準樣品(步長1μm)進行100次測量。      

注 3 :以100×/ 0.95物(wù)鏡對标準樣品(5μm間距)進行100次測量。

 

産品咨詢

留言框

  • 産品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯系電(diàn)話(huà):

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7

聯系我(wǒ)們

上海逅飛科技有限公司 公司地址:上海市虹口區寶山路778号海倫國際大(dà)廈5樓   技術支持:化工(gōng)儀器網
  • 聯系人:袁文軍
  • QQ:494474517
  • 公司座機:86-021-56830191
  • 郵箱:yuanwenjun@sunano.com.cn

掃一(yī)掃 更多精彩

微信二維碼

網站二維碼